Electrical Parameters of the Erbium Oxide MOS Capacitor for Different Frequencies
Küçük Resim Yok
Tarih
2019
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Electrical parameters of Erbium Oxide (Er 2 O 3 ) MOS capacitors depending on frequency were investigated deeply, in this paper. Er 2 O 3 layers were deposited on p–Si substrates with (100) oriented using RF– magnetron sputtering method. The films were annealed at 500 o C in N 2 environment. C–V characteristic changes reduce with increasing frequency. G/?–V characteristic variations show different behavior between 10–250 kHz and 250 kHz–1 MHz. It is thought that these different behaviors are caused by interface states between silicon and Er 2 O 3 layer, series resistance (R s ) effects and the relaxation time of trapped states. The R s values calculated by the C ma and G ma values at the high frequency and decrease with rising frequency. Then, C c –V and G c /?–V characteristic curves were measured and compared to first measurements. In addition, interface state density (D it ), diffusion potential (V D ), and barrier height (? B ) were calculated and these results demonstrate similar behaviors.
Açıklama
Anahtar Kelimeler
Biyoloji Çeşitliliğinin Korunması, Biyoloji, Kimya, Analitik, Kimya, Uygulamalı, Kimya, İnorganik ve Nükleer, Kimya, Tıbbi, Kimya, Organik, Fizikokimya, Ekoloji, Çevre Bilimleri, Deniz ve Tatlı Su Biyolojisi, Matematik, Mineraloji, Mantar Bilimi, Optik, Fizik, Uygulamalı, Fizik, Atomik ve Moleküler Kimya, Fizik, Katı Hal, Fizik, Akışkanlar ve Plazma, Fizik, Matematik, Fizik, Nükleer, Fizik, Partiküller ve Alanlar, Spektroskopi, İstatistik ve Olasılık, Termodinamik, Taşınım, Su Kaynakları, Mimarlık, Hücre ve Doku Mühendisliği, Bilgisayar Bilimleri, Yapay Zeka, Bilgisayar Bilimleri, Sibernitik, Bilgisayar Bilimleri, Donanım ve Mimari, Bilgisayar Bilimleri, Bilgi Sistemleri, Bilgisayar Bilimleri, Yazılım Mühendisliği, Bilgisayar Bilimleri, Teori ve Metotlar, İnşaat ve Yapı Teknolojisi, Savunma Bilimleri, Enerji ve Yakıtlar, Mühendislik, Kimya, İnşaat Mühendisliği, Mühendislik, Elektrik ve Elektronik, Çevre Mühendisliği, Endüstri Mühendisliği, İmalat Mühendisliği, Mühendislik, Deniz, Mühendislik, Makine, Mühendislik, Petrol, Gıda Bilimi ve Teknolojisi, Yeşil, Sürdürülebilir Bilim ve Teknoloji, Görüntüleme Bilimi ve Fotoğraf Teknolojisi, Malzeme Bilimleri, Biyomalzemeler, Malzeme Bilimleri, Seramik, Malzeme Bilimleri, Özellik ve Test, Malzeme Bilimleri, Kaplamalar ve Filmler, Malzeme Bilimleri, Kompozitler, Malzeme Bilimleri, Kâğıt ve Ahşap, Malzeme Bilimleri, Tekstil, Metalürji Mühendisliği, Maden İşletme ve Cevher Hazırlama, Nanobilim ve Nanoteknoloji, Nükleer Bilim ve Teknolojisi, Polimer Bilimi, Robotik, Telekomünikasyon, Taşınım Bilimi ve Teknolojisi
Kaynak
Celal Bayar Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi
WoS Q Değeri
Scopus Q Değeri
Cilt
15
Sayı
2
